1、等離子清洗使得用戶能夠遠離有害溶劑對人體的損傷，一起也防止了濕法清洗中簡單洗壞清洗目標的問題；

　　2、運用等離子清洗，能夠使得清洗效率獲得較大的進步。整個清洗工藝流程幾分鐘內即可完結，因而具有產率高的特色；

　　3、清洗目標經等離子清洗機清洗之后是干燥的，不需求再經干燥處理即可送往下一道工序。能夠進步整個工藝流水線的處理效率；

　　4、運用等離子清洗，防止了對清洗液的運輸、存儲、排放等處理措施，所以生產場地很簡單保持清潔衛生；

　　5、防止運用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會發生有害污染物，因而這種清洗辦法屬于環保的綠色清洗辦法。這在高度重視環保的情況下越發顯出它的重要性；

　　6、采用無線電波規模的高頻發生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強，這使得它能夠深化到物體的微細孔眼和凹陷的內部完結清洗使命，因而不需求過多考慮被清洗物體的形狀。并且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果類似甚至更好；

　　7、等離子清洗機需求操控的真空度約為100Pa，這種清洗條件很簡單到達。因而這種設備的設備成本不高，加上清洗過程不需求運用價格較為貴重的有機溶劑，這使得全體成本要低于傳統的濕法清洗工藝；

　　8、等離子體清洗能夠不分處理目標，它能夠處理各式各樣的材質，無論是金屬、半導體、氧化物，仍是高分子資料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環氧樹脂等高聚物）都能夠運用等離子體來處理。因而特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質。并且還能夠有挑選地對資料的全體、部分或雜亂結構進行部分清洗；

　　9、等離子清洗機在完結清洗去污的一起，還能夠改進資料本身的外表功能。如進步外表的潮濕功能、改進膜的黏著力等，這在許多使用中都是非常重要的。